Plasma etching : an introduction /

Corporate Author: Academic Press
Other Authors: Manos, Dennis M.
Format: Book
Language:English
Published: Boston: Academic Press, c1989
Series:Plasma - Materials interactions
Subjects:
ΒιβλιοθήκηΤαξιθετικός αριθμόςΑριθμός ΑντιτύπωνΠληροφορίεςΚατάσταση
Δημοκρίτειο Πανεπιστήμιο ΘράκηςTA 20201ΠροβολήOPAC