Patterning of material layers in submicron region/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | English |
| Published: |
New York:
J. Wiley,
1993
|
| Subjects: |
| Physical Description: | xii, 183 σ. : εικ. (μερ. έγχρ.) ; 25 εκ. |
|---|---|
| Bibliography: | Περιέχει βιβλιογραφικές παραπομπές και ευρετήριο |
| ISBN: | 0470220635 8122405614 |