Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication/

Corporate Authors: Society of Photo-optical Instrumentation Engineers, Institution of Electrical Engineers
Other Authors: Rai-Choudhury, P.
Format: Book
Language:English
Published: Bellingham,: London: SPIE Optical Engineering Press ; Institution of Electrical Engineers, c1997
Series:IEE materials & devices series 12
Subjects:
ΒιβλιοθήκηΤαξιθετικός αριθμόςΑριθμός ΑντιτύπωνΠληροφορίεςΚατάσταση
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο670 HAN2ΠροβολήOPAC
Δημοκρίτειο Πανεπιστήμιο ΘράκηςTK 7836.H3423 19972ΠροβολήOPAC