High density plasma sources: : design, physics and performance/

Other Authors: Popov, Oleg A.
Format: Book
Published: Park Ridge, NJ. : Noyes Publications, c1995
Subjects:
ΒιβλιοθήκηΤαξιθετικός αριθμόςΑριθμός ΑντιτύπωνΠληροφορίεςΚατάσταση
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο621.044 HIG1ΠροβολήOPAC