Fundamental electron interactions with plasma processing gases/

Main Author: Christophorou, Loucas G.
Other Authors: Olthoff, James K.
Format: Book
Language:English
Published: New York: Kluwer Academic/Plenum Publishers, 2004
Series:Physics of atoms and molecules
Subjects:
ΒιβλιοθήκηΤαξιθετικός αριθμόςΑριθμός ΑντιτύπωνΠληροφορίεςΚατάσταση
Εθνικό και Καποδιστριακό Πανεπιστήμιο Αθηνών539.757 ChrL f 20041ΠροβολήOPAC